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第三方电子元器件氦质谱细检漏检测机构

氦质谱细检漏是一种常用于气密封装电子元器件的密封性检查方法，它通过检测元器件封装中是否存在微小的气体泄漏，以确保元器件达到设计要求的密封性能。

江苏粤科检测是专业第三方电子元器件检测机构，实验室配备氦质谱检漏仪，可提供电子元器件密封性检查—氦质谱细检漏检测服务。

密封电子元器件的密封性检测方法

密封电子元器件的密封性检测可对应分为粗检漏和细检漏。细检漏方法包括氦质谱细检漏、放射性同位素Kr85细检漏和光干涉细检漏等方法。

氦质谱检漏仪细检漏灵敏度相对较高，无损无害，检测效率较高，是目前应用最为普遍的细漏检测方法。

粗检漏是采用各种溶液的气泡法（其溶液有硅油、氟化物、酒精、浸润水溶液、水等）、称重法、染色法等，粗检漏的试验方法中，碳氟化合物气泡法粗检漏，是可以与普通氦质谱实现无缝衔接的。  

氦质谱细检漏基本原理

1. 氦气作为检测气体：

   - 使用氦气作为检测气体，因为氦气分子非常小，能够穿透极小的裂缝或孔隙。

2. 质谱仪检测：

   - 将元器件置于真空室内，注入氦气，并使用质谱仪检测室内气体成分。

3. 气体泄漏检测：

   - 若元器件存在微小的气体泄漏，氦气将通过泄漏处进入真空室，质谱仪会检测到氦气的存在。

4. 分析泄漏量：

   - 通过质谱仪分析氦气泄漏的程度，确定泄漏的位置和大小。

氦质谱细检漏步骤

1. 真空室准备：

   - 将被测元器件放置在真空室内，确保真空室达到适当的真空度。

2. 氦气注入：

   - 向真空室内注入氦气，使气氛中充满氦气。

3. 检测开始：

   - 启动质谱仪，开始检测气体成分。在正常情况下，真空室内应只有氦气。

4. 泄漏检测：

   - 若元器件存在气密性问题，氦气将通过泄漏处进入真空室，质谱仪会检测到氦气的存在。

5. 泄漏分析：

   - 质谱仪分析氦气泄漏的程度，提供泄漏的位置和大小信息。

6. 修复或报废：

   - 根据检测结果，对于存在泄漏的元器件，可以进行修复或报废，确保产品符合密封性能要求。

氦质谱细检漏是一种敏感而可靠的气密性检测方法，常用于要求高密封性的电子元器件的制造和质量控制过程中。

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